1. MOSFET (Metal Oxide Semiconductor FET)
ㅇ 저 비용, 고 집적, 저 전력, 단순 공정의 반도체 트랜지스터 소자
- 크기가 작을수록 더 적은 전력 소모, 더 빠른 동작속도를 보임
※ [참고] BJT, MOSFET 비교
- (집적도 : MOSFET > BJT)
- (전력소모 : MOSFET < BJT)
- (속도 : MOSFET < BJT)
- (신뢰성 : MOSFET < BJT)
2. MOSFET의 구조 ☞ MOSFET 구조 참조
ㅇ (수평) 기판(B) 위에, 소스(S),게이트(G),드레인(D)으로 구성된, pnp 또는 npn 접합 구조
- 4개가 단자화(S, G, D, B)되어 외부와 연결됨
ㅇ (수직) 3층 적층 구조
- 금속-산화물-반도체(Metal-Oxide-Semiconductor)의 3층이 적층 구조를 형성
※ (명칭) IGFET (Insulated-gate FET)
- 발명 초기, 게이트에, 금속을 사용했으나, 지금은 폴리실리콘을 사용
- MOSFET 보다는 IGFET가 더 적절한 명칭이나, 관습에 의해 MOSFET를 씀
3. MOSFET의 특징
※ ☞ MOSFET 특징 참조
- 단극성 트랜지스터 (전자 또는 정공 중 1개의 전하캐리어 만이 관여)
- 3 단자 소자 (게이트,드레인,소스)
- 전압제어 전류원 역할 (게이트 인가 전압에 의한 전류 제어)
- 응용 소자로써 활용 (증폭기,스위치 등)
- 집적도 우수, 제조공정 단순, 소자 간 절연 용이, 누설전류 작음, 소비 전력 매우 작음 등
ㅇ 회로 기호 ☞ MOSFET 회로 기호 참조
4. MOSFET의 전류
ㅇ MOSFET에서, 전류의 흐름 특성 ☞ MOSFET 전류 전압 특성 참조
- 전류가 흐르는 장소
. 소스,드레인 간의 전도채널로 만 전류가 흐르며,
. 기판과는 흐르지 않음
. 이때, 게이트 전류는 0 (iG = 0)
.. (게이트는 산화막 절연에 의해 전류가 차단되기 때문임)
- 전류가 흐르는 원인
. 소스,드레인 간에 반송자의 드리프트(Drift)에 의함
- 전류의 의존성
. 문턱 전압 Vth, 채널 길이 L, 채널 폭 W 등에 영향을 받음
[# i_D = k_{n} \left(\frac{W}{L}\right)(v_{GS} - V_{th})v_{DS} #]
ㅇ 여기서, 전도 채널 이란? ☞ MOSFET 전도채널 참조
- 드레인에서 소스로 전류가 흐를 수 있는 작은 전자 흐름 통로 (전도성 채널)
. `채널 길이(L)`, `채널 폭(W)`, 그 위의 게이트 `산화막(SiO₂)`이 중요 역할을 함
- 전도성 채널(반전층)을 형성하려면,
. 최소 VGS(≒0.3~0.5V) 필요 ☞ MOSFET 문턱전압 참조
- 전도성 채널(반전층)이 없을때는,
. 드레인 소스 간에 높은 저항(약 1012 Ω) 있게됨
5. MOSFET의 동작 모드
※ ☞ MOSFET 동작모드 참조
- VGS,VDS 크기에 따라 차단영역,선형영역,포화영역으로 다르게 동작함
. (게이트 소스 전압 VGS, 드레인 소스 전압 VDS)
. `차단영역 (OFF)` 및 `선형영역 (ON)` : `스위치` 역할
. `포화영역` : `증폭기` 역할
6. MOSFET의 종류
※ ☞ MOSFET 종류 참조
- 전도 채널의 유도 필요에 따라 : 공핍형 MOSFET, 증가형 MOSFET(더많이쓰임)
- 유도된 전도 채널의 종류에 따라 : n-channel (nMOS), p-channel (pMOS)
- 상보적 회로 : CMOS (pMOS 및 nMOS 모두를 갖음, 기판은 p형 또는 n형 둘중 하나)
6. MOSFET의 주요 파라미터 : (제조 공정 특성/능력과 관련됨)
ㅇ (소자 집적도와 관련됨)
- Leff : 채널 유효 길이 (≒ 10 nm 정도)
. 큰 드레인 전류를 얻기위해, 채널 길이를 최소화하는 능력
.. 소스 - 드레인 간 오옴성 저항의 최소화
- tox : 산화막 두께 (≒ 15 Å 정도)
. 극도로 얇으면서 매우 일정한 절연체(유전체) 층을 만드는 능력
.. 게이트 하단에 생기는 전도 채널상의 전하 캐리어 양이 크도록함
.. (C = Q V = εA/t)
* 위 두 값은 감소시킬수록 집적도,동작속도 등에 좋음
- 전도 채널의 물리적 길이 (L) 및 폭 (W)
. 길이 (L) : 0.03 ~ 1 ㎛
. 폭 (W) : 0.05 ~ 100 ㎛
ㅇ (구조 특성과 관련됨)
- Vth : 문턱 전압
. 강 반전을 생성하는데 필요한 최소 게이트 전압