1. X선 발생 장치 (X선 관)
ㅇ 음극,양극을 갖는 진공관으로 구성된 X선 튜브에 의해 발생
ㅇ 주요 구성 요소
- 전자 발생원 (음극,높은 음 전압,가열된 텅스턴 필라멘트)
- 금속 표적 (양극 : 통상, 접지됨)
. 주요 표적 물질 : Cr, Fe, Co, Ni, W(텅스텐) 등 주로 고 저항 재료
- 진공관 (진공 유리관)
- 높은 가속 전압 (약 35 kV 또는 100 kV 이상)
. 전자가 전기장 내 가속되는 동안 큰 운동에너지를 갖게됨
- 냉각 장치 (음극 표적에서 방출된 열에너지를 식힘)
2. X-선 발생 과정 구분
ㅇ 제동 복사(Bremsstrahlung, Whit Radiation)에 의한, 연속 제동 X선 (연속 스펙트럼) 발생
- 원자 핵의 전기장에 의해 가속된 전자의 진행이 방해 받으면서(감속되며) X선 발생
. 원자 내부구조의 재조정에 따른 전자 천이에서 넓은 스펙트럼 영역에 걸쳐, X선 광자 방출
. 이때 광자의 에너지는, 충돌 전후의 전자의 운동에너지 차이와 같음
- 표적에 충돌한 전자의 운동에너지 대부분(99%)이 열로 변환되나,
. 이중 일부분(1% 미만) 만이 X선 방출
ㅇ 충돌 손실에 의한, 특성 복사(Characteristic Radiation) X선 (선 스펙트럼) 발생
- 표적 원자를 때려 분리된 전자가 바닥 상태로 되돌아가며 X선 광자 방출
. 전자 궤도 간의 에너지 준위 차이에 의한 파장을 갖음
- 금속 표적 특유의 특성선
※ 보통, 두 X선이 함께 나타남