1. 다결정 실리콘 (Poly-silicon)
ㅇ 비교적 고 순도 : 대략 98 ~ 99.99% 정도
* 통상, 실리콘 순도 등급의 분류 ☞ 단결정 성장 참조
. 금속급 실리콘 (MGS, Metallurgical Grade Si) 순도 : 98%
. 태양전지급 실리콘 (SGS, SoG,SoGS,Solar Grade Si) 순도 : 99.9999% (Six Nine)
. 전자소자급 실리콘 (EGS, Electronic Grade Si) 순도 : 99.999999999% (11 Nine)
ㅇ 비교적 높은 전도성을 갖음
2. 다결정 실리콘의 주요 용도
※ (단결정 실리콘과는 다른 응용 영역에 속함)
ㅇ 태양전지
ㅇ MOSFET의 게이트 (Gate) 전극
- 산화막(Oxide) 위에 증착 적층(stack)시켜 형성
. 다결정 실리콘은 산화막과 화학반응 하지 않으면서도 고온에 견딜 수 있음
ㅇ 아날로그 집적회로의 저항 소자
ㅇ 집적회로 도선 (Interconnect)
ㅇ 반도체 소자 재료용 다결정 실리콘
- 다결정 실리콘으로부터 단결정 실리콘을 `결정성장`시키는데 사용