1. 감광제, 감광막
ㅇ 감광제 (Photosensitizer, Photoresist)
- 기판,박막 위에 도포되어서 감광막을 형성시키는 재료 또는 성질
. 통상, 마스크를 통해 선택적으로 빛에 노출시킴
ㅇ 감광막 (Photosensitive Film)
- 기판,박막 위에 감광제가 도포되어 형성된 `반응성 막`을 지칭
ㅇ 감광제 재료 / 감광 재료 (Photosensitive Material)
- 자외선 등에 (통상, 파장 500 nm 이하) 민감한(반응하는) 점착성 재료
. 빛 또는 열 등 에너지에 노출되었을 때 내부 화학구조가 바뀌는 혼합물
. 요구 특성 : 얇고 균일한 도포가 가능하고, 빛(자외선)에 대한 감도가 좋아야 함
2. 감광제 종류
ㅇ 양성 감광제 (Positive) : 빛이 쬐인 부분이 현상액에 녹음 (더 많이 쓰임)
ㅇ 음성 감광제 (Negative) : 빛이 쬐인 부분이 현상할 때 녹지 않음
3. 감광제 구성
ㅇ 용매 (Solvent) : 감광막을 용해시킬 때 사용
ㅇ 중합체 (Polymer) : 감광막의 기계적 성질을 결정함
ㅇ 감응제 (Sensitizer) : 자외선 빛을 받으면 화학 반응을 일으킴
- 요구사항 : 노출 시간 단축 및 고른 노출이 중요함
ㅇ 첨가물 (Additive) : 광 화학 반응의 정밀 조절용(최적 해상도) 첨가제