1. 정류형 접합 이란?
ㅇ 단방향 전기 전도성을 갖는 정류성 접촉
- 例) 쇼트키 다이오드, pn접합 다이오드
2. 금속 반도체 접합에 의한 정류성 접합 => 일명, `쇼트키 접합`이라고 함
ㅇ 금속 반도체 접합에서, 접촉의 유형 둘(2)
- 정류성(rectifying) 또는 쇼트키(Schottky) 접촉(contact)
- 비정류성(non-rectifying) 또는 옴성(Ohmic) 접촉(contact)
ㅇ 금속과 저 농도 도핑된 반도체(주로, n형 반도체) 간의 접합임
- 쇼트키 효과 (Schottky Effect)
. 접촉을 통한 금속의 일함수 감소(장벽 낮아짐) 효과
- 쇼트키 장벽 (Schottky Barrier) : ΦBO
. 금속 반도체 간 접촉에 의해 형성된 접촉 전위차
. 특히, 금속 -> 반도체 으로의 전자 확산을 막는 전위 장벽
- 내부 전위장벽 (Built-in Potential Barrier) : Vbi
. 반도체 -> 금속 으로의 전자 확산을 막는 내부 장벽
3. 바이어스 하의 쇼트키 접합
4. 쇼트키 접합 특징
ㅇ 정류성 접촉(Rectifying Contact)
- 단방향 전기 전도성을 갖는 정류성 접촉을 이룸
ㅇ 다수 캐리어에 의해서만 동작
- 소수 캐리어 축적이 없기 때문에 고속 스위칭에 적합
ㅇ 재료별 구분
- 금속재료 : Al, Au
- 고온 고전력용 W, TiW 등