Sputtering   스퍼터링

(2023-10-05)

1. 스퍼터링 (Sputtering)

  ㅇ 일반적으로, 재료 또는 공작물의 불필요한 부분을 제거하는 제거 가공 방법

  ㅇ 또한, 재료에 타격을 주어 입자(원자,분자,이온 등)가 튀어 나오게 하는 것


2. 스퍼터링에 의한 증착/코팅 기술진공 용기 내 불활성 기체를 채워,
     - 코팅 원재료(타깃)에 고 전압을 걸어 방전시키면,
     - 이온화불활성 기체(고 에너지 이온으로 보통 Ar+)가 코팅 원재료에 충돌하게 되고, 
     - 이때의 원재료(타깃) 물질이온이 튀어나와,
     - 이것이 기판(증착 대상물,Substrate)에 달라붙어 증착 또는 코팅이 됨 
  ㅇ (즉, 얇고 균일하게 표면에 입혀짐)

증착
   1. 증착   2. 에피택셜 성장   3. 박막   4. 화학 증착   5. 스퍼터링  


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