1. 전자총 (Electron Gun)
ㅇ 지향성이 강한 전자 빔(Electron Beam)을 만들어내는 장치
2. 전자총의 구분
ㅇ 열 방사형 전자총 (Thermionic Electron Gun)
- 히터(Heater,필라멘트) 및 그 둘레를 감싸는 원통형 금속체인 캐소드(Cathode)로 구성됨
.. 통상, 텅스턴 전선에 전류를 흘리며 가열시키고, 금속체 보다 음의 전위를 갖게하면,
.. 방출된 전자들은 금속체까지 가속되며 금속체 밖으로 같은 에너지를 갖고 발사됨
- 히터에 열이 공급되면 전자들이 열에너지를 받아 열 전자 방출됨
ㅇ 전계 방사형 전자총 (Field Emission Electron Gun)
- 열에너지 대신에 전자가 캐소드를 벗어나도록 높은 전계(약 108 V/㎝)를 공급하는 방식
3. 전자 빔, 전자 살 (Electron Beam)
ㅇ 전자총 등에 의해 나온 전자들이 가속되어 만들어진 전자 빔
ㅇ 파동성을 갖음 : 전자 파 (Electron Wave, 電子波)
- 전자의 드브로이 파
ㅇ 가속 전압에 의한 전자 파(波)의 특성
- 가속 전압(V) 하의 전자의 운동에너지(KE)
. KE = ½mev2 = p2/2me = e V
. p = √(2meeV)
- 드브로이 관계식에 의한 파장 관계식
. λ = h/p 또는 p = hk
. λ = h/√(2meeV)
- 가속 전압에 의한 비 상대론적 전자의 파장
. λ = 1.2264/√V [㎚]
- 가속 전압에 의한 상대론적 전자의 파장
. λ = 1.2264/√V(1 + 0.97845x10-6V) [㎚]