Sheet Resistance, Surface Resistance   표면 저항, 면 저항, 표피 저항

1. `표면 저항`, `표피 저항`, `접촉 저항` 비교

  ㅇ 표면 저항 (Sheet Resistance) 
     - 주로, 정사각형 판형 면적의 층 저항을 말함 
        . (반도체 제작 분야에 자주 쓰이는 용어)
     - 표기 : Rsheet 또는 R□
     - 단위 : [ Ω/□ ]

  ㅇ 표피 저항 (Surface Resistance)                                     ☞ 표피 효과 참조
     - 주로, 도체의 표피효과에 따라 전자기파 또는 전류가 표피 근처로 만 제한됨으로 인해
             나타나는 저항을 말함

  ㅇ 접촉 저항 (Contact Resistance)          ☞ 접합 (반도체 접합, 금속 반도체 접합 등) 참조
     - 주로, 금속, 반도체 등 간의 접촉면에 의한 저항
        . 통상, 접촉 저항 값은,  ☞ `2점 탐침`,`4점 탐침법` 등 측정에 의해 구해지나,  
        . 측정,계면 상태에 따라 달라지므로, 측정시 주의를 요함


2. 비 저항, 체적 저항, 표면 저항 간의 관계

    

  ㅇ 
[# R = ρ \frac{L}{A} = \frac{1}{σ} \frac{L}{Wt} = \frac{1}{σt} \frac{L}{W} = R_{sheet} \frac{L}{W} #]
     - {#R_{volume} = ρ \frac{L}{A} = \frac{1}{σ} \frac{L}{Wt} #}  :  체적 저항 또는 총 저항 [Ω]
     - {#R_{sheet} = ρ/t = 1/σt#}  :  면 저항 [Ω/□]

  ㅇ {#L/W#} : square 갯수
     - 이를통해, 단위 길이가 상쇄됨으로써,
     - 특정한 길이와 폭을 가지는 도체를, 정사각형 단위로 나누어서, 평가 가능

  ㅇ {#R_{volume} = R_{sheet} \times L/W = R_{sheet} \times (\text{square 갯수})#}
  ㅇ {#ρ_{resistivity} = R_{sheet} \times t#}

  ㅇ σ = 1/ρ 
     - 전도율 σ [S/m, 1/(Ω m)]  (Conductivity)
     - 비저항 ρ [Ω m, μΩ ㎝]  (Resistivity)
  ㅇ t (두께), L (길이), W (폭)
  

3. 표면 저항의 특징

  ㅇ 표면 저항은, 제작과정에서 이미 주어지는 량 

  ㅇ 통상, 설계자는 L/W (square 개수)를 조절하여 원하는 총 저항 값을 얻게됨

  ※ 표면 저항의 측정 : 주로, 4점 탐침법 사용