집적공정 용어

(2016-11-19)

Gettering, 게터링, Metallization, 금속 배선 기술, CMP, 화학 기계적 연마, Electronmigration

1. 집적공정 관련 용어

  ㅇ 게터링 (Gettering)
     - 반도체 웨이퍼 내에 오염 물질(중금속이나 나트륨알칼리 금속)을 포획시켜 비활성화
       시키는 공정
        . 확산 속도 차이 등을 이용

  ㅇ 금속 배선 기술 (Metallization)
     - 집적회로 내 소자의 내부연결/배선(Interconnect) 기술
        . 재료 : 전기저항이 낮고, 유전체 표면에 잘 부착되는 금속(알루미늄,구리 등)을 사용
        . 배선 : 금속증착기술로 증착하고, 내부연결 형상은 리소그래피,식각 공정으로 만듬

  ㅇ 화학 기계적 연마 (CMP, Chemical Mechanical Polishing)
     - 기계적인 연마(Polishing)와 화학적인 식각(Etching)/침식(Erosion)의 복합 작용으로
       표면에서 소재를 원하는 만큼 제거하는 오늘날 표준적인 평탄화 공정(Planarization)

  ㅇ 전자 이탈 현상 (Electronmigration)
     - 도체에서 전류를 운반하는 전자운동량원자로 전이되어 원자가 이동/이탈되는 현상
        . 例) 집적회로알루미늄 금속선이 전류로 인해 없어지는 등


[집적공정 참고용어] 1. 집적공정 용어 2. 청정실 3. 진공
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            3. 리소그래피
            4. 증착
            5. 식각
            6. 도핑(확산,이온주입)
            7. 산화
        1.   결정 성장
        2.   증착
        3.   리소그래피
        4.   집적공정 참고용어
          1.   1. 집적공정 용어
              2. 청정실
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