Top > [기술공통]
[기초과학]
[진동/파동]
[방송/멀티미디어/정보이론]
[전기전자공학]
[통신/네트워킹]
[정보기술(IT)]
[공학일반(기계,재료등)]
[표준/계측/품질]
[기술경영]
전기전자공학 >   1. 전기 (Electricity) 이란?
  2. 전기전자공학
[디지털공학]
[신호 및 시스템]
[회로해석]
[전자기학]
[초고주파공학]
[반도체]
[전자회로]
[전기공학]
[자동제어]
[전자공학(기타일반)]
반도체 >   1. 반도체
[도체 전도성]
[반도체 기초]
[반도체 재료]
[반도체 에너지밴드]
[반도체 평형상태]
[반도체 전하 이동]
[반도체 접합]
[다이오드]
[트랜지스터]
[집적공정]
집적공정   1. 집적 공정
  2. 결정 성장
  3. 리소그래피
  4. 증착
  5. 식각
  6. 도핑(확산,이온주입)
  7. 산화
[결정 성장]
[증착]
[리소그래피]
[집적공정 참고용어]
  1. 반도체 집적공정
    1. 소자에 따라 다르지만, 각 단위공정의 반복 및 조합으로, 수백 스텝의 공정단계를 거침
[집적공정] 1. 집적 공정 2. 결정 성장 3. 리소그래피 4. 증착 5. 식각 6. 도핑(확산,이온주입) 7. 산화
[결정 성장] [증착] [리소그래피] [집적공정 참고용어]
【   참 고 문 헌  】
1) 최우영,박병국,이종덕 공저,"실리콘 집적회로 공정기술의 기초",문운당,2011
2) 연규호,"집적회로 공정기술",21세기사,2012
3) Gary S. May,Simon M. Sze,"반도체 집적 공정",곽계달 등 5인 공역,교보문고,2010
4) Dieter K. Schroder,"반도체 소자 분석",이준신 등 2인 공역,텍스트북스,2008

Copyrightⓒ written by 차재복 (Cha Jae Bok, cjbword@gmail.com)

 
        최근수정이력     요약목록     참고문헌