Thin Film   박막

(2020-10-16)
Top > [기술공통]
[기초과학]
[진동/파동]
[전기전자공학]
[방송/멀티미디어/정보이론]
[통신/네트워킹]
[정보기술(IT)]
[공학일반(기계,재료등)]
[표준/계측/품질]
[기술경영]
전기전자공학 >   1. 전기전자공학
  2. 전기 (Electricity) 이란?
[디지털공학]
[신호 및 시스템]
[회로해석]
[전자기학]
[초고주파공학]
[반도체]
[전자회로]
[전기공학]
[자동제어]
[전자공학(기타일반)]
반도체 >   1. 반도체
[도체 전도성]
[반도체 기초]
[반도체 재료]
[반도체 에너지밴드]
[반도체 에너지준위]
[반도체 평형상태]
[반도체 전하 이동]
[반도체 접합]
[다이오드]
[트랜지스터]
[집적공정]
집적공정 >   1. 집적 공정
  2. 식각
[결정 성장]
[산화]
[증착]
[리소그래피]
[도핑]
[집적공정 참고용어]
증착   1. 증착
  2. 에피택셜 성장
  3. 박막
  4. 화학 증착
  5. 스퍼터링

Top > [기술공통]
[기초과학]
[진동/파동]
[전기전자공학]
[방송/멀티미디어/정보이론]
[통신/네트워킹]
[정보기술(IT)]
[공학일반(기계,재료등)]
[표준/계측/품질]
[기술경영]
공학일반(기계,재료등) >   1. 기술,공학 이란?
[역학]
[기계공학]
[재료공학]
[측량/측위/항법]
[소방학]
재료공학 >   1. 재료
[결정학]
[공업 재료]
[기계/전기/자기 재료]
[재료 성질]
[표면 공학]
[재료 (기타일반)]
표면 공학   1. 표면 공학
  2. 박막
  3. 산화피막
  4. 벌크
  5. 계면
  6. 표면 거칠기

1. 박막 (薄膜, Thin Film)

  ㅇ 통상, 집적공정 등에서 두께 약 1 ㎛ 이하로 만들어지는 얇은 막을 지칭

  ㅇ 주로, 전도성 박막 및 절연성 박막 등으로 사용됨

  ※ [참고] ☞ 박막 필터, 박막 트랜지스터, 산화막 등 참조


2. 집적공정에 의한 주요 박막 종류열 산화막
     - MOSFET 전도채널의 형성에 기반이 되는 절연 산화막 등에 사용

  ㅇ 유전체 박막 
     - 전도성 층 간에 절연, 보호막, 격리 등에 사용
        . 실리콘 산화물, 실리콘 질화물 등

  ㅇ 에피택셜 층
     - 단결정 실리콘 층의 성장에 사용 
        . 주로, 기계적인 지지 및 도핑 농도의 조절 등에 사용

  ㅇ 다결정 실리콘 층
     - 다결정 실리콘 성장에 사용
        . MOSFET 게이트 전극 재료, 다층 금속화 공정의 전도성 물질, 접합 접촉 재료 등

  ㅇ 금속 박막
     - 집적회로 내 소자 간 연결선, 옴성 접촉, 침과 외부와의 연결 등
        . 재료 : 알루미늄, 티타늄, 텅스텐, 구리3. 주요 박막 공정

  ㅇ 액상법
     - 例) 전기 도금 등

  ㅇ 기상법(증착법)
     - 물리 증착법(PVD) 
        . 진공 증착(Vacuum Depositin) 법 : 열 증발(Thermal Evaporation), 스퍼터링(Sputtering)
        . 스패터링(Spattering) 법
     - 화학 증착법(CVD)

  ㅇ 열 산화 법
     - 실리콘 웨이퍼 그 자체 물질이 이용됨


[증착] 1. 증착 2. 에피택셜 성장 3. 박막 4. 화학 증착 5. 스퍼터링

 
        최근수정     요약목록     참고문헌