Clean Room   청정실, 클린룸

(2021-03-20)

HEPA

1. 청정실공기 중의 먼지,미립자,압력,온도,습도,기류분포 등을 일정 범위로 제어코자 설비된 실내


2. 청정실 이용 구분

  ㅇ BCR(Biological C/R) : 미생물,분진 등을 제거한 청정실(제약,병원,식품제조 등)
  ㅇ ICR(Industrial C/R) : 제조 산업시설에 설치되는 청정실


3. 청정실 등급(클래스,class) 주요 기준

  ㅇ US Federal Standard 209 : 1, 10, 100, 1000, 10,000, 100,000 (6 등급 구분)
     - 例) 미세 전자기기 가공 : 1 ~ 10 classs 정도, 병원 : 10,000 class 정도

  ㅇ ISO 14644-1 : 1 ~ 9 (9 등급 구분)
     - 例) 일반 실내 공기 : 9 등급

  ※ 단위 체적입자의 크기 및 수에 따라 정해짐
     - 어떤 입자 지름 보다 큰 입자단위 부피에 허용되는 입자의 수로 나타냄
     - 例) 미 연방기준 209 (각기 다른 입자 크기에 대해 청정실 등급이 결정됨)
        . class 100 
           .. 0.5 ㎛ 이상의 지름을 갖는 입자의 경우에 그 수가 100개/ft3 이하
        . class 10
           .. 0.5 ㎛ 이상의 지름을 갖는 입자의 경우에 그 수가 10개/ft3 이하
        . class 1
           .. 0.5 ㎛ 이상의 지름을 갖는 입자의 경우에 그 수가 1개/ft3 이하


4. 청정실 오염원 종류

  ㅇ 미립자, 금속 불순물, 오염된 유기물질, 자연 산화물, 정전기 방전(ESD)


5. 청정실 유지 방식

  ㅇ 환기시설
     - 1960년 이후, 고 효율 미립자 공기 필터 (HEPA, High Efficiency Particulate Air Filter)를 통함
     - 2010년 이후, ULPA(Ultra Low Penetration Air Filter)를 통해 깨끗한 공기를 공급
     - 또한, 여과된 환기를, 중요 공정실에 층류 유동으로 공급시키며, 먼지 입자 공기를 걷어내게함
  ㅇ 온도 습도 : 21℃, 상대습도 45%
  ㅇ 가장 큰 오염원인 사람에 대한 대책
     - 실험실 가운,장갑모자 등 특수 복장 착용, 연필 대신 볼펜(흑연 입자 방지),
       클린룸용 종이(특수 용지) 사용 등


[집적공정 참고용어] 1. 집적공정 용어 2. 청정실 3. 진공

 
        최근수정     요약목록     참고문헌