【 참 고 문 헌 】 1) 최우영,박병국,이종덕 공저,"실리콘 집적회로 공정기술의 기초",문운당,2011 2) 연규호,"집적회로 공정기술",21세기사,2012 3) Gary S. May,Simon M. Sze,"반도체 집적 공정",곽계달 등 5인 공역,교보문고,2010 4) Dieter K. Schroder,"반도체 소자 분석",이준신 등 2인 공역,텍스트북스,2008
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