Vacuum   진공

(2017-11-07)
1. 진공 (Vacuum)

  ㅇ `비어있음`을 의미하는 라틴어 `vacua`에서 유래
     - 한편, 파동 관점에서 흡수,반사,굴절 등과 같이 매질(Medium) 방해요소가 없는,
        . 즉, 물리적/수학모델화를 위한 공간 개념에 대해서는 ☞ 자유 공간 참조

  ㅇ 주위 대기압 보다 압력이 낮은 곳 (한정된 공간)
     - 대기압 보다 낮은 압력이거나, 
     - 분자 밀도가 약 2.5 x 1019 분자/㎤ 보다 낮은 경우
        . 例) 진공으로 간주되는 우주 공간에는 3개 분자/㎥ 정도가 있음


2. 진공 분류

  ㅇ 저 진공  : 100 Pa 이상
  ㅇ 중 진공  : 100 ~ 10-1 Pa
  ㅇ 고 진공  : 10-1 ~ 10-5
  ㅇ 초고진공 : 10-5 Pa 이하


3. 진공 형성

  ㅇ 진공 형성 도구
     - 진공 챔버/용기    : 진공 유지 공간
     - 진공 펌프         : 챔버 내 기체를 외부로 유츨시키는 펌프
     - 진공 게이지(계기) : 진공도 측정 계기

  ㅇ 진공 용기(Vacuum Vessel) 압력 측정
     - 용기 내벽에서 표면 단위 면적입자 충돌의 강도를 측정


[집적공정 참고용어] 1. 집적공정 용어 2. 청정실 3. 진공
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      1.   도체 전도성
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      6.   반도체 전하 이동
      7.   반도체 접합
      8.   다이오드
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        2.   증착
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          1.   1. 집적공정 용어
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