Lithography, Photo-lithography   리소그래피, 리소그라피, 광 리소그래피, 포토 리소그래피

(2016-03-22)
Top > [기술공통]
[기초과학]
[파동/광학/음향]
[방송/멀티미디어/정보이론]
[전자/전기/제어]
[통신/네트워킹]
[정보기술(IT)]
[기계/재료/공업일반]
[표준/계측/품질]
[기술경영]
전자/전기/제어 >   1. 전기전자공학
[디지털공학]
[신호 및 시스템]
[회로해석]
[전자기학]
[초고주파/RF 공학]
[반도체/물리전자공학]
[전자회로]
[전기공학]
[자동제어]
[전자공학(기타일반)]
반도체/물리전자공학 > [도체 전도성]
[반도체 기초]
[반도체 재료]
[반도체 에너지밴드]
[반도체 평형상태]
[반도체 전하 이동]
[반도체 접합]
[다이오드]
[트랜지스터]
[집적공정]
집적공정   1. 집적 공정
  2. 결정 성장
  3. 리소그래피
  4. 증착
  5. 식각
  6. 도핑(확산,이온주입)
  7. 산화
[결정 성장]
[증착]
[리소그래피]
[집적공정 참고용어]

Top > [기술공통]
[기초과학]
[파동/광학/음향]
[방송/멀티미디어/정보이론]
[전자/전기/제어]
[통신/네트워킹]
[정보기술(IT)]
[기계/재료/공업일반]
[표준/계측/품질]
[기술경영]
전자/전기/제어 >   1. 전기전자공학
[디지털공학]
[신호 및 시스템]
[회로해석]
[전자기학]
[초고주파/RF 공학]
[반도체/물리전자공학]
[전자회로]
[전기공학]
[자동제어]
[전자공학(기타일반)]
반도체/물리전자공학 > [도체 전도성]
[반도체 기초]
[반도체 재료]
[반도체 에너지밴드]
[반도체 평형상태]
[반도체 전하 이동]
[반도체 접합]
[다이오드]
[트랜지스터]
[집적공정]
집적공정 >   1. 집적 공정
  2. 결정 성장
  3. 리소그래피
  4. 증착
  5. 식각
  6. 도핑(확산,이온주입)
  7. 산화
[결정 성장]
[증착]
[리소그래피]
[집적공정 참고용어]
리소그래피   1. 리소그래피
  2. 감광제
  3. 마스크
  4. 노광

1. 리소그래피(Lithography), 광 리소그래피(Photo-lithography)

  ㅇ 원래, 리소그래피는 석판 인쇄 또는 평판 인쇄라고하는 것

  ㅇ 반도체 웨이퍼 표면에 마스크 패턴 이미지를 옮기는 공정
     - 뒤이은 이온주입식각 공정을 위해 웨이퍼 상에 회로구조를 광학적으로 인쇄하는 것


2. 리소그래피 주요 공정

  ㅇ 공정 요약
     - 마스크 패턴 이미지에 따라 웨이퍼 표면의 감광막에 도달하면,
     - 감광막에 반응하여 화학반응을 일으켜 광학패턴이 옮겨짐

  ㅇ 주요 공정 순서
     - 실리콘 웨이퍼 세정 및 표면처리
     - 스핀 코팅/도포(Coating)  : 웨이퍼 전체에 균일 두께의 감광제를 입히는 과정
     - 소프트 베이크(Soft Bake) : 마르지 않은 감광제 용제를 증발시키는 열처리 과정
     - 노광/노출(Exposure)      : 포토 마스크 패턴웨이퍼 표면으로 옮기는 작업
     - 현상(Develope)           : 식각 시킬 부위의 감광막 제거 과정
     - 하드 베이크(Hard Bake)   : 잔류 용제를 증발시켜 밀착력 향상, 막의 정밀도를 높여
                                  식각 등 후속 공정을 위한 마무리 과정

  ㅇ 후속 공정 : 식각 등
     - 식각(Etching) : 노광 과정 후 원하는 부위 만 선택적으로 제거시키는 공정
     - 제거(Removing): 감광제를 제거(Strip)하는 등을 포함한 세정(Cleaning) 공정


[집적공정] 1. 집적 공정 2. 결정 성장 3. 리소그래피 4. 증착 5. 식각 6. 도핑(확산,이온주입) 7. 산화
[결정 성장] [증착] [리소그래피] [집적공정 참고용어]
  1.   기술공통
  2.   기초과학
  3.   파동/광학/음향
  4.   방송/멀티미디어/정보이론
  5.   전자/전기/제어
        1. 전기전자공학
    1.   디지털공학
    2.   신호 및 시스템
    3.   회로해석
    4.   전자기학
    5.   초고주파/RF 공학
    6.   반도체/물리전자공학
      1.   도체 전도성
      2.   반도체 기초
      3.   반도체 재료
      4.   반도체 에너지밴드
      5.   반도체 평형상태
      6.   반도체 전하 이동
      7.   반도체 접합
      8.   다이오드
      9.   트랜지스터
      10.   집적공정
            1. 집적 공정
            2. 결정 성장
            3. 리소그래피
            4. 증착
            5. 식각
            6. 도핑(확산,이온주입)
            7. 산화
        1.   결정 성장
        2.   증착
        3.   리소그래피
        4.   집적공정 참고용어
    7.   전자회로
    8.   전기공학
    9.   자동제어
    10.   전자공학(기타일반)
  6.   통신/네트워킹
  7.   정보기술(IT)
  8.   기계/재료/공업일반
  9.   표준/계측/품질
  10.   기술경영

 
        최근수정     참고문헌