Photoresist   감광제

(2017-07-18)

Photosensitive Film, 감광막Photosensitive Material, 감광 재료

1. 감광제, 감광막

  ㅇ 감광제 (Photoresist)
     - 기판,박막 위에 도포되어서 감광막을 형성시키는 재료 또는 성질
        . 마스크를 통해 선택적으로 에 노출되게됨

  ㅇ 감광막 (Photosensitive Film)
     - 기판,박막 위에 감광제가 도포되어 형성된 `반응성 막`을 지칭

  ㅇ 감광제 재료 / 감광 재료 (Photosensitive Material)
     - 자외선 등에 민감한 재료를 주로 사용
        .  또는 열 등 에너지에 노출되었을 때 내부 화학구조가 바뀌는 혼합물


2. 감광제 종류

  ㅇ 양성 감광제(Positive) : 이 쬐인 부분이 현상액에 녹음
  ㅇ 음성 감광제(Negative) : 이 쬐인 부분이 현상할 때 녹지 않음


3. 감광제 구성용매(Solvent)      : 감광막을 용해시킬 때 사용
  ㅇ 중합체(Polymer)    : 감광막의 기계적 성질을 결정함
  ㅇ 감응제(Sensitizer) : 자외선 을 받으면 화학반응을 일으킴
     - 요구사항 : 노출 시간 단축 및 고른 노출이 중요함


[리소그래피] 1. 리소그래피 2. 감광제 3. 마스크 4. 노광
  1.   기술공통
  2.   기초과학
  3.   파동/광학/음향
  4.   방송/멀티미디어/정보이론
  5.   전자/전기/제어
        1. 전기전자공학
    1.   디지털공학
    2.   신호 및 시스템
    3.   회로해석
    4.   전자기학
    5.   초고주파/RF 공학
    6.   반도체/물리전자공학
      1.   도체 전도성
      2.   반도체 기초
      3.   반도체 재료
      4.   반도체 에너지밴드
      5.   반도체 평형상태
      6.   반도체 전하 이동
      7.   반도체 접합
      8.   다이오드
      9.   트랜지스터
      10.   집적공정
            1. 집적 공정
            2. 결정 성장
            3. 리소그래피
            4. 증착
            5. 식각
            6. 도핑(확산,이온주입)
            7. 산화
        1.   결정 성장
        2.   증착
        3.   리소그래피
          1.   1. 리소그래피
              2. 감광제
              3. 마스크
              4. 노광
        4.   집적공정 참고용어
    7.   전자회로
    8.   전기공학
    9.   자동제어
    10.   전자공학(기타일반)
  6.   통신/네트워킹
  7.   정보기술(IT)
  8.   기계/재료/공업일반
  9.   표준/계측/품질
  10.   기술경영

 
        최근수정     모바일웹     참고문헌