Vacuum   진공

(2016-06-26)
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집적공정 참고용어
 > 집적공정 참고용어 1. 집적공정 용어
2. 청정실
3. 진공

     
1. 진공 (Vacuum)

  ㅇ `비어있음`을 의미하는 라틴어 `vacua`에서 유래
     - 한편, 파동 관점에서 흡수,반사,굴절 등과 같이 매질(Medium) 방해요소가 없는,
        . 즉, 물리적/수학적 모델화를 위한 공간 개념에 대해서는 ☞ 자유 공간 참조


  ㅇ 주위 대기압 보다 압력이 낮은 곳 (한정된 공간)
     - 대기압 보다 낮은 압력이거나, 
     - 분자 밀도가 약 2.5 x 1019 분자/㎤ 보다 낮은 경우
        . 例) 진공으로 간주되는 우주 공간에는 3개 분자/㎥ 정도가 있음

  ㅇ 진공 분류
     - 저 진공  : 100 Pa 이상
     - 중 진공  : 100 ~ 10-1 Pa
     - 고 진공  : 10-1 ~ 10-5
     - 초고진공 : 10-5 Pa 이하

  ㅇ 진공 형성 도구
     - 진공 챔버/용기    : 진공 유지 공간
     - 진공 펌프         : 챔버 내 기체를 외부로 유츨시키는 펌프
     - 진공 게이지(계기) : 진공도 측정 계기

  ㅇ 진공 용기(Vacuum Vessel) 압력 측정
     - 용기 내벽에서 표면 단위 면적입자 충돌의 강도를 측정


[ 집적공정 참고용어 ]1. 집적공정 용어  2. 청정실  3. 진공  

 
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