poly-Si   Polycrystalline Silicon, Poly Silicon   다결정 실리콘, 폴리 실리콘

(2023-02-15)

1. 다결정 실리콘 (Poly-silicon)

  ㅇ 비교적 고 순도 : 대략 98 ~ 99.99% 정도

     * 통상, 실리콘 순도 등급의 분류                                ☞ 단결정 성장 참조
        . 금속실리콘 (MGS, Metallurgical Grade Si) 순도  :  98%
        . 태양전지실리콘 (SGS, SoG,SoGS,Solar Grade Si) 순도  :  99.9999% (Six Nine)
        . 전자소자실리콘 (EGS, Electronic Grade Si) 순도  :  99.999999999% (11 Nine)

  ㅇ 비교적 높은 전도성을 갖음


2. 다결정 실리콘의 주요 용도

  ※ (단결정 실리콘과는 다른 응용 영역에 속함)

  ㅇ 태양전지MOSFET게이트 (Gate) 전극 
     - 산화막(Oxide) 위에 증착 적층(stack)시켜 형성
        . 다결정 실리콘산화막화학반응 하지 않으면서도 고온에 견딜 수 있음

  ㅇ 아날로그 집적회로저항 소자집적회로 도선 (Interconnect) 

  ㅇ 반도체 소자 재료다결정 실리콘
     - 다결정 실리콘으로부터 단결정 실리콘을 `결정성장`시키는데 사용

반도체 재료
   1. 실리콘 (Si)   2. 실리카 (SiO₂)   3. 다결정 실리콘 (Poly-Si)   4. 게르마늄 (Ge)   5. 화합물 반도체   6. 갈륨비소 (GaAs)   7. 탄화규소 (SiC)  


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