Photoresist   감광제

(2017-07-18)

Photosensitive Film, 감광막Photosensitive Material, 감광 재료

1. 감광제, 감광막

  ㅇ 감광제 (Photoresist)
     - 기판,박막 위에 도포되어서 감광막을 형성시키는 재료 또는 성질
        . 마스크를 통해 선택적으로 에 노출되게됨

  ㅇ 감광막 (Photosensitive Film)
     - 기판,박막 위에 감광제가 도포되어 형성된 `반응성 막`을 지칭

  ㅇ 감광제 재료 / 감광 재료 (Photosensitive Material)
     - 자외선 등에 민감한 재료를 주로 사용
        .  또는 열 등 에너지에 노출되었을 때 내부 화학구조가 바뀌는 혼합물


2. 감광제 종류

  ㅇ 양성 감광제(Positive) : 이 쬐인 부분이 현상액에 녹음
  ㅇ 음성 감광제(Negative) : 이 쬐인 부분이 현상할 때 녹지 않음


3. 감광제 구성용매(Solvent)      : 감광막을 용해시킬 때 사용
  ㅇ 중합체(Polymer)    : 감광막의 기계적 성질을 결정함
  ㅇ 감응제(Sensitizer) : 자외선 을 받으면 화학반응을 일으킴
     - 요구사항 : 노출 시간 단축 및 고른 노출이 중요함


[리소그래피] 1. 리소그래피 2. 감광제 3. 마스크 4. 노광

 
        최근수정     참고문헌