Clean Room   청정실, 클린룸

(2017-11-12)
1. 청정실

  ㅇ 공기 중의 먼지,미립자,압력,온도,습도,기류분포 등을 일정 범위로 제어코자 설비된 실내


2. 청정실 이용 구분

  ㅇ BCR(Biological C/R) : 미생물,분진 등을 제거한 청정실(제약,병원,식품제조 등)
  ㅇ ICR(Industrial C/R) : 제조 산업시설에 설치되는 청정실


3. 청정실 등급(클래스,class) 주요 기준

  ㅇ US Federal Standard 209 : 1, 10, 100, 1000, 10,000, 100,000 (6 등급 구분)
     - 例) 미세전자가공 : 1 및 10 classs 정도, 
           병원 : 10,000 class 정도
  ㅇ ISO 14644-1 : 1 ~ 9 (9 등급 구분)
     - 例) 일반 실내 공기 : 9 등급

  ※ 단위 체적 당 입자 크기 및 수에 따라 정해짐
     - 어떤 입자 지름 보다 큰 입자단위 부피에 허용되는 입자수 수치로 나타냄
        . 例) 미 연방기준 209 class 100 : 0.5 ㎛ 이상의 지름을 갖는 입자의 수가 100개/ft3 이하


4. 청정실 유지 방식

  ㅇ 환기시설  : 고성능미립자필터 (HEPA, High-performance Particulate Air Filter)를 통함
  ㅇ 온도 습도 : 21℃, 상대습도 45%


[집적공정 참고용어] 1. 집적공정 용어 2. 청정실 3. 진공

 
        최근수정     요약목록     참고문헌