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poly-Si Polycrystalline Silicon, Poly Silicon 다결정 실리콘, 폴리 실리콘 | (2018-07-04) |
1. 다결정 실리콘 (Poly-silicon) ㅇ 비교적 고 순도 : 대략 98 ~ 99.99% 정도 * 통상, 실리콘 순도 등급 ☞ 단결정 성장 참조 . 금속급 실리콘(MGS,Metallurgical Grade Si) 순도 : 98% . 태양전지급 실리콘(SGS,SoG,SoGS,Solar Grade Si) 순도 : 99.9999% (Six Nine) . 전자소자급 실리콘(EGS,Electronic Grade Si) 순도 : 99.999999999% ㅇ 비교적 높은 전도성을 갖음 2. 다결정 실리콘 주요 사용 용도 ㅇ 태양전지 ㅇ MOSFET 게이트(Gate) 전극 - 산화막(Oxide) 위에 증착 적층(stack)시켜 형성 . 다결정 실리콘은 산화막과 화학반응 하지 않으면서도 고온에 견딜 수 있음 ㅇ 아날로그 집적회로의 저항 소자 ㅇ 집적회로 도선(interconnect) ㅇ 반도체 소자 재료용 다결정 실리콘 - 다결정 실리콘으로부터 단결정 실리콘을 `결정성장`시키는데 사용
[반도체 재료] | 1. 실리콘 2. 실리카 3. 다결정 실리콘 4. 갈륨비소 5. 화합물 반도체 |