poly-Si   Polycrystalline Silicon, Poly Silicon   다결정 실리콘, 폴리 실리콘

1. 다결정 실리콘 (Poly-silicon)

  ㅇ 고 순도 : 대략 98 ~ 99.99% 정도

     * 실리콘 순도 등급                                         ☞ 단결정 성장 참조
        . 금속급 실리콘(MGS,Metallurgical Grade Si) 순도      : 98%
        . 태양전지급 실리콘(SGS,SoG,SoGS,Solar Grade Si) 순도 : 99.9999% (Six Nine)
        . 전자소자급 실리콘(EGS,Electronic Grade Si) 순도     : 99.999999999%

  ㅇ 비교적 높은 전도성을 갖음


2. 다결정 실리콘 주요 사용 용도

  ㅇ 태양전지

  ㅇ MOSFET 게이트(Gate) 전극 
     - 산화막(Oxide) 위에 증착 적층(stack)시켜 형성
        . 다결정 실리콘은 산화막과 화학반응 하지 않으면서도 고온에 견딜 수 있음

  ㅇ 아날로그 집적회로의 저항 소자

  ㅇ 집적회로 도선(interconnect) 

  ㅇ 반도체 소자 재료용 다결정 실리콘
     - 다결정 실리콘으로부터 단결정 실리콘을 `결정성장`시키는데 사용